Đề bài
Hoàng có n số nguyên không âm a₁, a₂, …, a_n.

Ta gọi một dãy chỉ số i₁, i₂, …, i_k (1 ≤ i₁ < i₂ < … < i_k ≤ n) là một nhóm có kích thước k.

Hoàng muốn biết có bao nhiêu nhóm tồn tại sao cho:

a_i1 & a_i2 & … & a_ik = 0

với mọi 1 ≤ k ≤ n.

Hãy giúp Hoàng tìm ra số nhóm như vậy và in kết quả theo modulo 1000000007 (10⁹ + 7). ( Điều này có nghĩa là sau khi bạn tính được số nhóm, bạn lấy kết quả chia cho 1000000007 và in ra phần dư .)

Ký hiệu x & y biểu thị phép AND theo bit của hai số nguyên x và y.

Input

• Dòng đầu tiên chứa một số nguyên n (1 ≤ n ≤ 10⁶).
• Dòng thứ hai chứa n số nguyên a₁, a₂, …, a_n (0 ≤ a_i ≤ 10⁶).

Output
In ra một số nguyên duy nhất — số nhóm thỏa mãn điều kiện, theo modulo 1000000007 (10⁹ + 7).

Sample input

3
2 3 3

Sample ouput

0

Sample input

4
0 1 2 3

Sample output

10

Sạmple input

6
5 2 0 5 2 1

Sample output

53